（1）机电一体化技术：是从系统工程观点出发，应用机械、电子等有关技术，使机械、电子有机合，实现系统或产品整体最优的综合性技术。机电一体化技术，主要包括技术原理和使用机电一体化产品，（或系统）得以实现、使用和发展的技术。机电一体化技术是一个技术群（族）的总称。机电一体化技术的共性关键技术有：检测传感技术、信息处理技术、伺服驱动技术、自动控制技术、机械技术及系统总体技术等。

 

（2）机电一体化系统（产品）：是由若干具有特定功能的机械和电子要素组成的有机整体，具有满足人的使用要求的最佳功能，机电一体化系统（产品），主要是指机械系统（或部件）与微电子系统（或部件）相互置换和有机结合，从而赋予新的功能和性能的新一代产品，具有良好的人机协作关系。

 

（3）机电一体化工程（机械电子工程）：是机械工程与电子工程的综合集成。即为：给定机电一体化系统（或产品）“目的功能”与“规格”后，机电一体化技术人员利用机电一体化技术进行设计、制造的整个过程体系。机电一体化工程是系统工程在机电一体化系统（产品）中的具体应用。

 

（4）机电一体化思想：体现了“系统设计原理和”和“综合集成技巧”。系统工程、控制论和信息论是机电一体化技术的方法论。从某种意义上讲、机电一体化思想相当于“一体化”思想，它带来了诸如：光电机一体化、机电液一体化、科工贸一体化、人机一体化等。 微机电一体化是机电一体化的一个重要分支和发展，是当代微机械技术（或纳米机械技术）和先进的微电子技术的高度融合，并在同一材质基底上的联体集成，是微米（或纳米）水平的机电一体化。微机电一体化技术发展的瓶颈，是微机械技术（或纳米机械技术），电子和软件技术已满足要求，但机械元件至今很难做到小型化，无法适应微小空间的接口连接，控制协调和机电动作。科学家预言，微机电一体化是今后10年十大关键技术之一。 人机一体化就是采取以人为中心，人与机械处在平等合作的地位上，人与机械共同组成一个系统，各自执行自己是擅长的工作，人与机械共同认识、共同感知、共同决策、共同工作，形成达到甚至超过人的能力的系统。